光刻机像质检测技术（下册） 王向朝 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载（价值228元）【高清非扫描版】（2021年）
《光刻机像质检测技术（下册）》王向朝 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载（价值228元）【高清非扫描版】（2021年）
图书简介：
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
