MEMS光纤声压传感器技术 金鹏 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载(价值99元)【高清非扫描版】(2022年)
《MEMS光纤声压传感器技术》金鹏 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载(价值99元)【高清非扫描版】(2022年)
图书简介:
本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景;其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理,分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析;然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装;最后对传感器的性能进行详细的测试。